2024/06/17
資料の種別。 |
図書。
資料情報のコピー
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書名。 |
プラズマプロセス技術(プラズマ/プロセス/ギジュツ)。
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副書名。 |
ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー(ナノ/ザイリョウ/サクセイ/カコウ/ノ/タメ/ノ/アトム/テクノロジー)。
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著者名等。 |
プラズマ・核融合学会‖編(プラズマ/カク/ユウゴウ/ガッカイ)。
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出版者。 |
森北出版/東京。
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出版年。 |
2017.1。
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ページと大きさ。 |
7,273p/22cm。
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件名。 |
材料科学。
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プラズマ物理学。
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分類。 |
NDC8 版:501.4。
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NDC9 版:501.4。
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NDC10版:501.4。
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ISBN。 |
978-4-627-77561-9。
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価格。 |
¥5600。
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タイトルコード。 |
1000001014687。
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内容紹介。 |
超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。。
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所蔵数。 |
館内でのみ利用可能な資料 。 |
貸出可能な資料。 |
貸出中の資料(割当または回送中含む) 。 |
予約件数(割当含む)。 |
- 所蔵数
- 1 冊
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