2025/06/11
| 資料の種別｡ |
図書｡
 資料情報のコピー
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| 書名｡ |
真空科学ハンドブック(シンクウ/カガク/ハンドブック)｡
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| 著者名等｡ |
日本真空学会‖編(ニホン/シンクウ/ガッカイ)｡
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| 出版者｡ |
コロナ社／東京｡
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| 出版年｡ |
2018.3｡
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| ページと大きさ｡ |
8,578p／27cm｡
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| 件名｡ |
真空技術｡
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| 分類｡ |
NDC8 版：534.93｡
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| NDC9 版：534.93｡
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| NDC10版：534.93｡
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| ISBN｡ |
978-4-339-00908-8｡
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| 価格｡ |
¥20000｡
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| タイトルコード｡ |
1000001125980｡
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| 内容紹介｡ |
真空の科学的基礎を解説。また、成膜、プラズマプロセスなどの応用分野で真空環境の役割を説き、極高真空などのこれまでにない真空環境が要求される研究・応用への取組みなどを紹介する。｡
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| 所蔵数｡ |
館内でのみ利用可能な資料 ｡ |
貸出可能な資料｡ |
貸出中の資料（割当または回送中含む） ｡ |
予約件数（割当含む）｡ |
- 所蔵数
- 1 冊
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館内でのみ利用可能な資料 - 0 冊
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- 貸出可能な資料｡
- 1 冊
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貸出中の資料（割当または回送中含む） - 0 冊
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- 予約件数（割当含む）
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