2026/07/15
| 資料の種別。 |
図書。
資料情報のコピー
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| 書名。 |
ナノ加工技術ハンドブック(ナノ/カコウ/ギジュツ/ハンドブック)。
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| 著者名等。 |
ナノ加工技術ハンドブック編集委員会‖編(ナノ/カコウ/ギジュツ/ハンドブック/ヘンシュウ/イインカイ)。
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| 出版者。 |
大阪公立大学出版会/堺。
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| 出版年。 |
2025.11。
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| ページと大きさ。 |
9,457p/26cm。
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| 件名。 |
電子工学。
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| ナノテクノロジー。
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| 分類。 |
NDC9 版:549。
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| NDC10版:549。
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| ISBN。 |
978-4-909933-97-3。
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| 価格。 |
¥4000。
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| タイトルコード。 |
1000001790240。
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| 内容紹介。 |
ナノ加工を行う際に必要となる基礎から応用までの知識を、図表を交え包括的にわかりやすく解説。微細加工技術、ナノ加工のプロセス科学と装置、ナノ構造形成技術、評価・計測、デバイス応用を取り上げる。。
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| 所蔵数。 |
館内でのみ利用可能な資料 。 |
貸出可能な資料。 |
貸出中の資料(割当または回送中含む) 。 |
予約件数(割当含む)。 |
- 所蔵数
- 1 冊
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館内でのみ利用可能な資料
- 0 冊
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- 貸出可能な資料。
- 1 冊
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貸出中の資料(割当または回送中含む)
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