2025/05/19
| 資料の種別｡ |
図書｡
 資料情報のコピー
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| 書名｡ |
超微細加工の基礎(チョウビサイ/カコウ/ノ/キソ)｡
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| 副書名｡ |
電子デバイスプロセス技術(デンシ/デバイス/プロセス/ギジュツ)｡
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| 著者名等｡ |
麻蒔/立男‖著(アサマキ,タツオ)｡
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| 版次｡ |
第2版｡
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| 出版者｡ |
日刊工業新聞社／東京｡
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| 出版年｡ |
2001.9｡
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| ページと大きさ｡ |
295p／21cm｡
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| 件名｡ |
半導体｡
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| 分類｡ |
NDC8 版：549.8｡
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| NDC9 版：549.8｡
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| NDC10版：549.8｡
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| ISBN｡ |
4-526-04812-7｡
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| 価格｡ |
¥3900｡
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| タイトルコード｡ |
1009910257853｡
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| 内容紹介｡ |
半導体部品の製造に使われる加工技術には、非常に多くの微細加工技術が集成され成り立っている。より要求が高まり、加工上の課題も多い超微細加工技術の基礎から応用を平易に解説。93年刊の第2版。｡
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| 著者紹介｡ |
昭和９年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電アネルバ（株）取締役、東京理科大学教授等を務めた。著書に「真空のはなし」「やさしい電気磁気学」など。｡
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| 所蔵数｡ |
館内でのみ利用可能な資料 ｡ |
貸出可能な資料｡ |
貸出中の資料（割当または回送中含む） ｡ |
予約件数（割当含む）｡ |
- 所蔵数
- 1 冊
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館内でのみ利用可能な資料 - 0 冊
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- 貸出可能な資料｡
- 1 冊
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貸出中の資料（割当または回送中含む） - 0 冊
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- 予約件数（割当含む）
- 0 件
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| 番号｡ |
資料番号｡ |
配架場所（配架案内）｡ |
請求記号｡ |
状態｡ |
| 1｡ |
- 資料番号：
- 005989231｡
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- 配架場所：
- B書庫（「書庫とりよせ」ボタンで申請し、カウンターでお受け取りください。）｡
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- 請求記号：
- 549.8/10019｡
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- 状態：
- 在庫｡
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このページのURL：https://www.library.pref.ishikawa.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1009910257853