2025/05/11
資料の種別。 |
図書。
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書名。 |
半導体製造装置用語辞典(ハンドウタイ/セイゾウ/ソウチ/ヨウゴ/ジテン)。
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著者名等。 |
日本半導体製造装置協会‖編(ニホン/ハンドウタイ/セイゾウ/ソウチ/キョウカイ)。
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版次。 |
第6版。
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出版者。 |
日刊工業新聞社/東京。
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出版年。 |
2006.9。
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ページと大きさ。 |
10,564p/21cm。
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件名。 |
半導体-辞典。
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分類。 |
NDC8 版:549.8。
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NDC9 版:549.8。
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NDC10版:549.8。
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ISBN。 |
4-526-05740-1。
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価格。 |
¥4700。
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タイトルコード。 |
1009910768755。
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内容紹介。 |
設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する7つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を215語追加した第6版。。
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所蔵数。 |
館内でのみ利用可能な資料 。 |
貸出可能な資料。 |
貸出中の資料(割当または回送中含む) 。 |
予約件数(割当含む)。 |
- 所蔵数
- 1 冊
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館内でのみ利用可能な資料
- 1 冊
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