2025/05/09
| 資料の種別｡ |
図書｡
 資料情報のコピー
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| 書名｡ |
図解でわかる半導体製造装置(ズカイ/デ/ワカル/ハンドウタイ/セイゾウ/ソウチ)｡
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| 著者名等｡ |
菊地/正典‖監修(キクチ,マサノリ)｡
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| 出版者｡ |
日本実業出版社／東京｡
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| 出版年｡ |
2007.4｡
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| ページと大きさ｡ |
182p／21cm｡
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| 件名｡ |
半導体｡
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| 分類｡ |
NDC8 版：549.8｡
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| NDC9 版：549.8｡
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| NDC10版：549.8｡
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| ISBN｡ |
978-4-534-04217-0｡
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| 価格｡ |
¥1900｡
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| タイトルコード｡ |
1100000021710｡
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| 内容紹介｡ |
「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。｡
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| 所蔵数｡ |
館内でのみ利用可能な資料 ｡ |
貸出可能な資料｡ |
貸出中の資料（割当または回送中含む） ｡ |
予約件数（割当含む）｡ |
- 所蔵数
- 1 冊
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館内でのみ利用可能な資料 - 0 冊
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- 貸出可能な資料｡
- 1 冊
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貸出中の資料（割当または回送中含む） - 0 冊
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- 予約件数（割当含む）
- 0 件
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| 番号｡ |
資料番号｡ |
配架場所（配架案内）｡ |
請求記号｡ |
状態｡ |
| 1｡ |
- 資料番号：
- 007259005｡
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- 配架場所：
- B書庫（「書庫とりよせ」ボタンで申請し、カウンターでお受け取りください。）｡
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- 請求記号：
- 549.8/10049｡
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- 状態：
- 在庫｡
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このページのURL：https://www.library.pref.ishikawa.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1100000021710