薄膜工学

• タイトルヨミ: ハクマクコウガク
• 著編者等／著者名等: 日本学術振興会薄膜第131委員会‖編集企画 金原粲‖監修 吉田貞史‖編著 近藤高志‖編著
• 統一著者名: 日本学術振興会 金原粲 吉田貞史 近藤高志
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: ニホンガクジュツシンコウカイ キンバラアキラ ヨシダサダフミ コンドウタカシ
• 出版者: 丸善出版
• 出版地: 東京
• 出版年: 2016.11
• 大きさ: 10,302p
• 件名: 薄膜
• 分類: 549.8,549.8 549.8
• ISBN: 978-4-621-30098-5
• マークNo: TRC16058914
• タイトルコード: 1000001001138
• 資料番号: 009386996
• 請求記号: 549.8/ﾆﾎ ﾊ
• 内容紹介: 薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。
• 種別: 図書
• 配架場所: 03154