プラズマプロセス技術

• タイトルヨミ: プラズマプロセスギジュツ
• サブタイトル: ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
• サブタイトルヨミ: ナノザイリョウサクセイカコウノタメノアトムテクノロジー
• 著編者等／著者名等: プラズマ・核融合学会‖編
• 統一著者名: プラズマ・核融合学会
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: プラズマカクユウゴウガッカイ
• 出版者: 森北出版
• 出版地: 東京
• 出版年: 2017.1
• 大きさ: 7,273p
• 件名: 材料科学 プラズマ物理学
• 分類: 501.4,501.4 501.4
• ISBN: 978-4-627-77561-9
• マークNo: TRC000000017004109
• タイトルコード: 1000001014687
• 資料番号: 00000000000100076645
• 請求記号: 501.4/ﾌﾗ ﾌ
• 内容紹介: 超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
• 種別: 図書
• 配架場所: 03150