よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み

• タイトルヨミ: ヨクワカルサイシンハンドウタイセイゾウソウチノキホントシクミ
• サブタイトル: ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 製造技術の神髄
• サブタイトルヨミ: ファブカラケンサマデセイゾウソウチオフカンスル セイゾウギジュツノシンズイ
• シリーズ名: 図解入門／ Visual Guide Book／
• シリーズ名ヨミ: ズカイニュウモン ヴィジュアルガイドブック
• 著編者等／著者名等: 佐藤淳一‖著
• 統一著者名: 佐藤淳一
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: サトウジュンイチ
• 出版者: 秀和システム
• 出版地: 東京
• 出版年: 2019.12
• 大きさ: 261p
• 件名: 半導体
• 分類: 549.8,549.8 549.8
• ISBN: 978-4-7980-6037-8
• マークNo: TRC19053863
• タイトルコード: 1000001281490
• 資料番号: 009826538
• 請求記号: 549.8/ｻﾄ ﾖ
• 内容紹介: 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
• 種別: 図書
• 配架場所: 034B0