新・半導体工場のすべて

• タイトルヨミ: シンハンドウタイコウジョウノスベテ
• サブタイトル: 設備・材料・プロセスからAI技術の活用まで
• サブタイトルヨミ: セツビザイリョウプロセスカラエーアイギジュツノカツヨウマデ
• 著編者等／著者名等: 菊地正典‖著
• 統一著者名: 菊地正典
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: キクチマサノリ
• 出版者: ダイヤモンド社
• 出版地: 東京
• 出版年: 2025.3
• 大きさ: 239p
• 件名: 半導体
• 分類: 549.8,549.8
• ISBN: 978-4-478-12201-3
• マークNo: TRC25008910
• タイトルコード: 1000001733008
• 資料番号: 101074524
• 請求記号: 549.8/ｷｸ ｼ
• 内容紹介: 半導体の最先端の技術やノウハウ、システムの凝縮された半導体工場の構成や機能について、さまざまな視点からわかりやすく解説する。世界の半導体工場の増設状況、「中工程」と呼ばれる新たな工程などを新章として加える。
• 種別: 図書
• 配架場所: 03154