微細加工とレジスト

• タイトルヨミ: ビサイカコウトレジスト
• シリーズ名: 高分子新素材One point／3
• シリーズ名ヨミ: コウブンシシンソザイワンポイント3
• 著編者等／著者名等: 野々垣三郎‖著
• 統一著者名: 野々垣三郎
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: ノノガキサブロウ
• 出版者: 共立出版
• 出版地: 東京
• 出版年: 1987.11
• 大きさ: 99p
• 件名: 集積回路
• 分類: 549.7,549.7 549.7
• ISBN: 4-320-04227-1
• マークNo: TRC000000087-28502
• タイトルコード: 1005010180724
• 資料番号: 00000000000000676742
• 請求記号: 578/15/3
• 種別: 図書