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薄膜

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タイトル 薄膜
著編者等/著者名等 金原粲‖[ほか]編集
出版者 日本規格協会
出版年 1991.4
内容紹介 1.概論 2.薄膜化の基本技術 3.薄膜の機能と設計 4.薄膜の試験法 5.薄膜技術と新材料
種別 図書
タイトル 薄膜
タイトルヨミ ハクマク
サブタイトル その機能と応用
サブタイトルヨミ ソノキノウトオウヨウ
著編者等/著者名等 金原粲‖[ほか]編集
統一著者名 金原粲
著編者等ヨミ/著者名等ヨミ キンバラアキラ
出版者 日本規格協会
出版地 東京
出版年 1991.4
大きさ 273p
件名 薄膜
分類 549.8,549.8 549.8
ISBN 4-542-30124-9
マークNo TRC000000091012962
タイトルコード 1005010224463
資料番号 00000000000000316869
請求記号 431.8/8
内容紹介 1.概論 2.薄膜化の基本技術 3.薄膜の機能と設計 4.薄膜の試験法 5.薄膜技術と新材料
種別 図書
配架場所 034E0

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