半導体製造装置用語辞典

• タイトルヨミ: ハンドウタイセイゾウソウチヨウゴジテン
• 著編者等／著者名等: 日本半導体製造装置協会‖編
• 統一著者名: 日本半導体製造装置協会
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイ
• 出版者: 日刊工業新聞社
• 出版地: 東京
• 出版年: 1994.11
• 大きさ: 486p
• 件名: 半導体-辞典
• 分類: 549.8,549.8 549.8
• ISBN: 4-526-03613-7
• マークNo: TRC000000094044455
• タイトルコード: 1005010277405
• 資料番号: 00000000000002896652
• 請求記号: 549.7/29
• 内容紹介: 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語<ソフトカバー>
• 種別: 図書
• 配架場所: 034B0