イオン注入技術

• タイトルヨミ: イオン チュウニュウ ギジュツ
• シリーズ名: エレクトロニクス技術全書／8
• シリーズ名ヨミ: エレクトロニクス ギジュツ ゼンショ000800
• 著編者等／著者名等: 難波進∥編著
• 統一著者名: 難波 進
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: ナンバ ススム
• 出版者: 工業調査会
• 出版地: 東京
• 出版年: 1975
• 大きさ: 194p
• 件名: 半導体
• 分類: 549
• マークNo: LML000000M10084029
• タイトルコード: 1005010318564
• 資料番号: 00000000000001550409
• 請求記号: 549/37
• 種別: 図書