半導体製造装置用語辞典

• タイトルヨミ: ハンドウタイセイゾウソウチヨウゴジテン
• 著編者等／著者名等: 日本半導体製造装置協会‖編
• 統一著者名: 日本半導体製造装置協会
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイ
• 出版者: 日刊工業新聞社
• 出版地: 東京
• 出版年: 1997.11
• 大きさ: 547p
• 件名: 半導体-辞典
• 分類: 549.8,549.8 549.8
• ISBN: 4-526-04090-8
• マークNo: TRC000000097049951
• タイトルコード: 1009710213681
• 資料番号: 00000000000005602511
• 請求記号: R549.8/10008
• 内容紹介: 最近のLSI・超LSI製造技術、デバイス開発の目ざましい進歩や環境保護への取り組みの強化など、時代の要請を反映し、新用語の追加、内容の洗練を図った最新知識充実の辞典。
• 種別: 図書