はじめての半導体製造装置

• タイトルヨミ: ハジメテノハンドウタイセイゾウソウチ
• シリーズ名: ビギナーズブックス／3
• シリーズ名ヨミ: ビギナーズブックス3
• 著編者等／著者名等: 前田和夫‖著
• 統一著者名: 前田和夫
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: マエダカズオ
• 出版者: 工業調査会
• 出版地: 東京
• 出版年: 1999.3
• 大きさ: 254p
• 件名: 半導体
• 分類: 549.8,549.8 549.8
• ISBN: 4-7693-1169-9
• マークNo: TRC000000099009600
• タイトルコード: 1009910016991
• 資料番号: 00000000000005839576
• 請求記号: 549.8/10017
• 内容紹介: すべての産業の中で最も先端的ともいえる半導体製造。その進歩の歴史、基本技術や実際の製造工程を解説。半導体市場や技術との関係から半導体製造技術をより広い視野でとらえる。
• 種別: 図書