はじめての半導体プロセス

• タイトルヨミ: ハジメテノハンドウタイプロセス
• シリーズ名: ビギナーズブックス／17
• シリーズ名ヨミ: ビギナーズブックス17
• 著編者等／著者名等: 前田和夫‖著
• 統一著者名: 前田和夫
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: マエダカズオ
• 出版者: 工業調査会
• 出版地: 東京
• 出版年: 2000.12
• 大きさ: 310p
• 件名: 半導体
• 分類: 549.8,549.8 549.8
• ISBN: 4-7693-1192-3
• マークNo: TRC000000000055573
• タイトルコード: 1009910182013
• 資料番号: 00000000000005839501
• 請求記号: 549.8/10016
• 内容紹介: 過去半世紀、停滞することなく高集積化・高密度化・高性能化を続けてきた半導体デバイス。その進歩を常に支えてきた半導体製造技術における半導体プロセスについて解説した入門書。
• 種別: 図書
• 配架場所: 034B0