はじめての半導体洗浄技術

• タイトルヨミ: ハジメテノハンドウタイセンジョウギジュツ
• シリーズ名: ビギナーズブックス／23
• シリーズ名ヨミ: ビギナーズブックス23
• 著編者等／著者名等: 小川洋輝‖著 堀池靖浩‖著
• 統一著者名: 小川洋輝 堀池靖浩
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: オガワヒロキ ホリイケヤスヒロ
• 出版者: 工業調査会
• 出版地: 東京
• 出版年: 2002.3
• 大きさ: 276p
• 件名: 半導体 洗浄法
• 分類: 549.8,549.8 549.8
• ISBN: 4-7693-1212-1
• マークNo: TRC000000002012985
• タイトルコード: 1009910306321
• 資料番号: 00000000000006054837
• 請求記号: 549.8/10022
• 内容紹介: 超LSIはクリーンネスとの闘いである。半導体洗浄技術の全貌について、技術の位置づけ、歴史、基礎的事項、具体的手法、評価法、今後の展望までを詳細に解説する。
• 種別: 図書
• 配架場所: 034B0