真空ハンドブック

• タイトルヨミ: シンクウハンドブック
• 著編者等／著者名等: アルバック‖編
• 統一著者名: アルバック
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: アルバック
• 出版者: オーム社
• 出版地: 東京
• 出版年: 2002.7
• 大きさ: 331p
• 件名: 真空技術-便覧
• 分類: 534.93,534.93 534.93
• ISBN: 4-274-08727-1
• マークNo: TRC02035408
• タイトルコード: 1009910339385
• 資料番号: 006210348
• 請求記号: 534.93/ｱﾙ ｼ
• 内容紹介: 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
• 種別: 図書
• 配架場所: 03153