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トコトンやさしい超微細加工の本

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タイトル トコトンやさしい超微細加工の本
著編者等/著者名等 麻蒔立男‖著
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.1
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
種別 図書
タイトル トコトンやさしい超微細加工の本
タイトルヨミ トコトンヤサシイチョウビサイカコウノホン
シリーズ名 B&Tブックス/ 今日からモノ知りシリーズ/
シリーズ名ヨミ ビーアンドティーブックス キョウカラモノシリシリーズ
著編者等/著者名等 麻蒔立男‖著
統一著者名 麻蒔立男
著編者等ヨミ/著者名等ヨミ アサマキタツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版地 東京
出版年 2004.1
大きさ 159p
件名 電子工学 ナノテクノロジー
分類 549,549 549
ISBN 4-526-05226-4
マークNo TRC000000004005510
タイトルコード 1009910499987
資料番号 00000000000006558241
請求記号 549/10025
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
種別 図書
配架場所 034B0

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