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半導体デバイス

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タイトル 半導体デバイス
著編者等/著者名等 S.M.ジィー‖著 南日康夫‖訳 川辺光央‖訳 長谷川文夫‖訳
出版者 産業図書
出版年 2004.3
内容紹介 最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際を集積回路に重点をおきつつ詳述。87年刊の第2版。
種別 図書
タイトル 半導体デバイス
タイトルヨミ ハンドウタイデバイス
サブタイトル 基礎理論とプロセス技術
サブタイトルヨミ キソリロントプロセスギジュツ
著編者等/著者名等 S.M.ジィー‖著 南日康夫‖訳 川辺光央‖訳 長谷川文夫‖訳
統一著者名ヨミ Sze S.M.
統一著者名 南日康夫 川辺光央 長谷川文夫
著編者等ヨミ/著者名等ヨミ シーS.M. ナンニチヤスオ カワベミツオ ハセガワフミオ
出版者 産業図書
出版地 東京
出版年 2004.3
大きさ 499p
件名 半導体
分類 549.8,549.8 549.8
ISBN 4-7828-5550-8
マークNo TRC04016774
タイトルコード 1009910517679
資料番号 100522739
請求記号 549.8/シS ハ
一般注記 原タイトル:Semiconductor devices 原著第2版の翻訳
内容紹介 最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際を集積回路に重点をおきつつ詳述。87年刊の第2版。
種別 図書
配架場所 034B0

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