進化するマイクロマシン

• タイトルヨミ: シンカスルマイクロマシン
• サブタイトル: 産業化のロードマップとナノとの融合
• サブタイトルヨミ: サンギョウカノロードマップトナノトノユウゴウ
• 著編者等／著者名等: マイクロマシンセンター‖監修 μM産業化研究会‖編
• 統一著者名: マイクロマシンセンター μM産業化研究会
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: マイクロマシンセンター ミューエムサンギョウカケンキュウカイ
• 出版者: 日刊工業新聞社
• 出版地: 東京
• 出版年: 2004.11
• 大きさ: 295p
• 件名: マイクロマシン
• 分類: 530,530 530
• ISBN: 4-526-05227-2
• マークNo: TRC04058445
• タイトルコード: 1009910580181
• 資料番号: 006700157
• 請求記号: 530/10003
• 内容紹介: マイクロマシン産業化のこれまでの展開や、MEMS・デバイス技術などマイクロマシン技術の現状と展望、ナノテクノロジーとの融合、応用分野の将来展望などから、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説。
• 種別: 図書
• 配架場所: 034B0