プラズマイオンプロセスとその応用

• タイトルヨミ: プラズマイオンプロセストソノオウヨウ
• 著編者等／著者名等: 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会‖編
• 統一著者名: 電気学会
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: デンキガッカイ
• 出版者: オーム社
• 出版地: 東京
• 出版年: 2005.10
• 大きさ: 11,279p
• 件名: イオンビーム加工 プラズマ物理学
• 分類: 549.1,549.1 549.1
• ISBN: 4-274-20123-6
• マークNo: TRC000000005051699
• タイトルコード: 1009910674476
• 資料番号: 00000000000006902019
• 請求記号: 549.1/10005
• 内容紹介: プラズマイオンプロセス法にかかわるプラズマ技術、イオン運動の物理、三次元基材に適用する条件などの物理に関する事柄から、生産部品の改質技術、半導体への適用技術等の応用技術まで、平成13年からの調査研究をまとめる。
• 種別: 図書
• 配架場所: 034B0