半導体のための真空技術入門

• タイトルヨミ: ハンドウタイノタメノシンクウギジュツニュウモン
• サブタイトル: 現場で役立つ基礎と応用
• サブタイトルヨミ: ゲンバデヤクダツキソトオウヨウ
• 著編者等／著者名等: 宇津木勝‖著
• 統一著者名: 宇津木勝
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: ウツギマサル
• 出版者: 工業調査会
• 出版地: 東京
• 出版年: 2007.2
• 大きさ: 219p
• 件名: 半導体 真空技術
• 分類: 549.8,549.8 549.8
• ISBN: 978-4-7693-1262-8
• マークNo: TRC000000007008300
• タイトルコード: 1100000005694
• 資料番号: 00000000000007065691
• 請求記号: 549.8/10046
• 内容紹介: 半導体生産にはじめて携わる装置エンジニア、プロセスエンジニアのための入門書。半導体に関わる真空技術を、できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に解説し、用語の語源や由来の説明、計算ではその過程も示す。
• 種別: 図書
• 配架場所: 034B0