オプティカルリソグラフィー

• シリーズ名: フィールドガイド／
• シリーズ名ヨミ: フィールドガイド
• 著編者等／著者名等: Chris A.Mack‖著 木下博雄‖訳
• 統一著者名ヨミ: Mack Chris A.
• 統一著者名: 木下博雄
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: マックC.A. キノシタヒロオ
• 出版者: オプトロニクス社
• 出版地: 東京
• 出版年: 2008.9
• 大きさ: 12,133p
• 件名: リソグラフィー
• 分類: 549.7,549.7 549.7
• ISBN: 978-4-902312-33-1
• マークNo: TRC08052342
• タイトルコード: 1100000177643
• 資料番号: 007569452
• 請求記号: 549.7/10007
• 一般注記: 原タイトル：Field guide to optical lithography
• 内容紹介: 光技術の関係者に特に関心の高い技術を、基礎から応用面までわかりやすく解説した技術書。光学の基礎からイメージング技術、評価手法まで、リソグラフィーを学問的に体系づけて紹介する。
• 種別: 図書
• 配架場所: 034B0