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光波干渉法に基づく動的精密計測とその応用

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タイトル 光波干渉法に基づく動的精密計測とその応用
著編者等/著者名等 永寿伴章‖[著]
出版者 工業技術院機械技術研究所
出版年 1994.3
種別 図書
タイトル 光波干渉法に基づく動的精密計測とその応用
タイトルヨミ コウハカンショウホウニモトズクドウテキセイミツケイソクトソノオウヨウ
シリーズ名 機械技術研究所報告/第165号
シリーズ名ヨミ キカイギジュツケンキュウジョホウコク165
著編者等/著者名等 永寿伴章‖[著]
著編者等ヨミ/著者名等ヨミ エイジュトモアキ
出版者 工業技術院機械技術研究所
出版地 つくば
出版年 1994.3
大きさ 5,52p
分類 425.9
- 0286-2255
マークNo LMLM10194234
タイトルコード 1100000235693
資料番号 007710205
請求記号 530.5/10055/165
種別 図書
配架場所 034B0

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