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誤差補償干渉縞解析法による精密位相計測技術の研究

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タイトル 誤差補償干渉縞解析法による精密位相計測技術の研究
著編者等/著者名等 日比野謙一‖[著]
出版者 工業技術院機械技術研究所
出版年 1998.12
種別 図書
タイトル 誤差補償干渉縞解析法による精密位相計測技術の研究
タイトルヨミ ゴサホショウカンショウコウカイセキホウニヨルセイミツイソウケイソクギジュツノケンキュウ
シリーズ名 機械技術研究所報告/第180号
シリーズ名ヨミ キカイギジュツケンキュウジョホウコク180
著編者等/著者名等 日比野謙一‖[著]
著編者等ヨミ/著者名等ヨミ ヒビノケンイチ
出版者 工業技術院機械技術研究所
出版地 つくば
出版年 1998.12
大きさ 66p
分類 501.22
- 0286-2255
マークNo LMLM10194258
タイトルコード 1100000235718
資料番号 007710445
請求記号 530.5/10055/180
種別 図書
配架場所 034B0

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