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離散的イオン照射による局所領域の物性制御

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タイトル 離散的イオン照射による局所領域の物性制御
著編者等/著者名等 小木曽久人‖[著]
出版者 工業技術院機械技術研究所
出版年 2000.12
種別 図書
タイトル 離散的イオン照射による局所領域の物性制御
タイトルヨミ リサンテキイオンショウシャニヨルキョクショリョウイキノブッセイセイギョ
シリーズ名 機械技術研究所報告/第188号
シリーズ名ヨミ キカイギジュツケンキュウジョホウコク188
著編者等/著者名等 小木曽久人‖[著]
著編者等ヨミ/著者名等ヨミ オギソヒサト
出版者 工業技術院機械技術研究所
出版地 つくば
出版年 2000.12
大きさ 57p
分類 507.6
- 0286-2255
マークNo LMLM10194269
タイトルコード 1100000235729
資料番号 007710551
請求記号 530.5/10055/188
種別 図書
配架場所 034B0

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