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分光エリプソメトリー

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タイトル 分光エリプソメトリー
著編者等/著者名等 藤原裕之‖著
出版者 丸善出版
出版年 2011.5
内容紹介 分光エリプソメトリーの基礎を、量子力学・電磁気学に関する記述や数式をできるだけ少なくして、わかりやすく解説する。説明を平易にし、解析例を追加した第2版。
種別 図書
タイトル 分光エリプソメトリー
タイトルヨミ ブンコウエリプソメトリー
著編者等/著者名等 藤原裕之‖著
統一著者名 藤原裕之
著編者等ヨミ/著者名等ヨミ フジワラヒロユキ
出版者 丸善出版
出版地 東京
出版年 2011.5
大きさ 10,369p
件名 スペクトル分析 偏光
分類 433.57,433.57 433.5
ISBN 978-4-621-08322-2
マークNo TRC11024911
タイトルコード 1100000448493
資料番号 100320837
請求記号 433.57/フシ フ
内容紹介 分光エリプソメトリーの基礎を、量子力学・電磁気学に関する記述や数式をできるだけ少なくして、わかりやすく解説する。説明を平易にし、解析例を追加した第2版。
種別 図書
配架場所 03143

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