真空科学ハンドブック

• タイトルヨミ: シンクウカガクハンドブック
• 著編者等／著者名等: 日本真空学会‖編
• 統一著者名: 日本真空学会
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: ニホンシンクウガッカイ
• 出版者: コロナ社
• 出版地: 東京
• 出版年: 2018.3
• 大きさ: 8,578p
• 件名: 真空技術
• 分類: 534.93,534.93 534.93
• ISBN: 978-4-339-00908-8
• マークNo: TRC000000018017108
• タイトルコード: 1000001125980
• 資料番号: 00000000000009628603
• 請求記号: 534.93/ﾆﾎ ｼ
• 内容紹介: 真空の科学的基礎を解説。また、成膜、プラズマプロセスなどの応用分野で真空環境の役割を説き、極高真空などのこれまでにない真空環境が要求される研究・応用への取組みなどを紹介する。
• 種別: 図書
• 配架場所: 03153