ナノ加工技術ハンドブック

• タイトルヨミ: ナノカコウギジュツハンドブック
• 著編者等／著者名等: ナノ加工技術ハンドブック編集委員会‖編
• 統一著者名: ナノ加工技術ハンドブック編集委員会
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: ナノカコウギジュツハンドブックヘンシュウイインカイ
• 出版者: 大阪公立大学出版会
• 出版地: 堺
• 出版年: 2025.11
• 大きさ: 9,457p
• 件名: 電子工学 ナノテクノロジー
• 分類: 549,549
• ISBN: 978-4-909933-97-3
• マークNo: TRC25045355
• タイトルコード: 1000001790240
• 資料番号: 010961324
• 請求記号: 549/ﾅﾉ ﾅ
• 内容紹介: ナノ加工を行う際に必要となる基礎から応用までの知識を、図表を交え包括的にわかりやすく解説。微細加工技術、ナノ加工のプロセス科学と装置、ナノ構造形成技術、評価・計測、デバイス応用を取り上げる。
• 種別: 図書
• 配架場所: 03154