半導体製造装置用語辞典

• タイトルヨミ: ハンドウタイセイゾウソウチヨウゴジテン
• 著編者等／著者名等: 日本半導体製造装置協会‖編
• 統一著者名: 日本半導体製造装置協会
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイ
• 出版者: 日刊工業新聞社
• 出版地: 東京
• 出版年: 2006.9
• 大きさ: 10,564p
• 件名: 半導体-辞典
• 分類: 549.8,549.8 549.8
• ISBN: 4-526-05740-1
• マークNo: TRC06048576
• タイトルコード: 1009910768755
• 資料番号: 006655112
• 請求記号: 549.8/ﾆﾎ ﾊ
• 内容紹介: 設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する7つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を215語追加した第6版。
• 種別: 図書
• 配架場所: 034B0