図解でわかる半導体製造装置

• タイトルヨミ: ズカイデワカルハンドウタイセイゾウソウチ
• 著編者等／著者名等: 菊地正典‖監修
• 統一著者名: 菊地正典
• 著編者等ヨミ／著者名等ヨミ: キクチマサノリ
• 出版者: 日本実業出版社
• 出版地: 東京
• 出版年: 2007.4
• 大きさ: 182p
• 件名: 半導体
• 分類: 549.8,549.8 549.8
• ISBN: 978-4-534-04217-0
• マークNo: TRC000000007019726
• タイトルコード: 1100000021710
• 資料番号: 00000000000007259005
• 請求記号: 549.8/10049
• 内容紹介: 「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。
• 種別: 図書
• 配架場所: 034B0